特許
J-GLOBAL ID：200903097067413198
回転面の測定方法及び測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-065605
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273129
出願日： 1993年03月24日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、干渉を利用した回転面の測定において、被検面を回転面の創成に使用した回転軸に沿って走査したときに、干渉縞像を常にラインセンサ上に結像できる方法及び装置を提供することを目的としている。【構成】 同一光源1からの可干渉光は、参照面6aと回転面からなる被検面7aとに照射され、両面から反射される参照波と被検波とが重畳され、結像レンズ9とビームスプリッタ15を介してエリアセンサ10とラインセンサ10′上に干渉縞の像を結像する。被検面6aを回転軸12に沿って走査すると、干渉縞像が移動する。その移動量をエリアセンサ10で測定し、それに応じてビームスプリッタ15をy軸又はz軸方向に移動して干渉縞像がラインセンサ10′上に常に重なるように追従させる。
請求項（抜粋）：
同一光源からの可干渉光を参照面と回転面からなる被検面とに照射し、これら両面から反射される参照波と被検波とを重畳してセンサ上に干渉縞の像を結像させ、被検面を回転面の創成に使用した回転軸に沿って走査して連続的に前記干渉縞像を形成する回転面の測定方法において、前記干渉縞を結像する光路内に反射光学系を設け、該反射光学系及び/又は前記センサを動かして前記干渉縞像を常にセンサ上に結像させることを特徴とする回転面の測定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 9/02
, G01M 11/00
