特許
J-GLOBAL ID:200903097067655060
感放射線性樹脂組成物の溶液および該溶液の保存安定性改善方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
福沢 俊明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-039066
公開番号(公開出願番号):特開2002-244295
出願日: 2001年02月15日
公開日(公表日): 2002年08月30日
要約:
【要約】【課題】 溶液中の含水量が低く制御され、樹脂中のカルボン酸無水物構造が加水分解するおそれがなく長期保存安定性に優れた、感放射線性樹脂組成物の溶液、およびカルボン酸無水物構造を有する樹脂を含有する感放射線性樹脂組成物の溶液の保存安定性改善方法を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物の溶液は、(A)カルボン酸無水物構造を有する酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有し、溶液中の含水量が1,000ppm以下であることを特徴とする。感放射線性樹脂組成物の溶液の保存安定性改善方法は、乾燥不活性ガスによりバブリングすることからなる。
請求項(抜粋):
(A)主鎖および/または側鎖にカルボン酸無水物構造を有するアルカリ可溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂からなり、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有する感放射線性樹脂組成物の溶液であって、該溶液中の含水量が1,000ppm以下であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物の溶液。
IPC (4件):
G03F 7/039 601
, C08K 5/00
, C08L101/02
, G03F 7/38 501
FI (4件):
G03F 7/039 601
, C08K 5/00
, C08L101/02
, G03F 7/38 501
Fターム (26件):
2H025AA11
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025BJ10
, 2H025CB10
, 2H025CB41
, 2H025FA17
, 2H096AA25
, 2H096BA11
, 2H096DA10
, 2H096EA02
, 2H096EA04
, 2H096GA08
, 4J002BC121
, 4J002BG071
, 4J002BK001
, 4J002EB106
, 4J002EN136
, 4J002EV296
, 4J002EW176
, 4J002GP03
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