特許
J-GLOBAL ID：200903097074583546

透明樹脂の検査方法および検査装置

発明者：
中林 敬哉

中林 敬哉 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (3件)： 山崎 宏 ,  田中 光雄 ,  仲倉 幸典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-034311
公開番号（公開出願番号）：特開2008-197026
出願日： 2007年02月15日
公開日（公表日）： 2008年08月28日
要約：
【課題】光結合素子の製造工程において使用できて、非破壊検査であって、検査精度が高く、検査タクト・設備調整時間が十分短く、検査コスト・設備コストが低くできる上に、材料コストの増大を防止でき、また、デバイスを覆う透明樹脂に使用しても、デバイスへの悪影響の発生を防止できる透明樹脂の検査方法を提供する。【解決手段】リードフレーム2の一表面上に略半球形状の透明樹脂4を塗布形成して、略半球形状の透明樹脂4を硬化させた後、略半球形状の透明樹脂4に光を照射しながら、略半球形状の透明樹脂4からの反射光をCCDラインセンサカメラ13で受ける。CCDラインセンサカメラ13がその反射光に基づいて作成した画像データによって、透明樹脂4の塗布量を判定する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被塗布基材の一表面上に略半球形状の透明樹脂を塗布形成する工程と、 上記略半球形状の透明樹脂を硬化させる工程と、 上記略半球形状の透明樹脂に光を照射しながら、上記被塗布基材による反射光を撮像装置で受ける工程と、 上記撮像装置が上記反射光に基づいて作成した画像データによって、上記透明樹脂の塗布量を判定する工程と を備えることを特徴とする透明樹脂の検査方法。
IPC (3件)：
G01B 11/02 ,  G01N 21/17 ,  G01N 21/47
FI (3件)：
G01B11/02 H ,  G01N21/17 A ,  G01N21/47 Z
Fターム (33件)：
2F065AA01 ,  2F065AA58 ,  2F065BB22 ,  2F065CC27 ,  2F065FF04 ,  2F065FF15 ,  2F065FF44 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ25 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ31 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059BB16 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059FF20 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM09 ,  2G059MM10 ,  2G059MM20 ,  2G059NN01
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特開昭62-266405号公報
  • 塗膜の膜厚測定方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-186360   出願人：積水化学工業株式会社

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