特許
J-GLOBAL ID：200903097081182719
基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲岡 耕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-340070
公開番号（公開出願番号）：特開平10-178082
出願日： 1996年12月19日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：
【要約】【課題】処理に要する時間を予測でき、生産管理が行いやすい基板処理装置を提供する。【解決手段】半導体ウエハを搬送するための搬送ロボットのアームを回動させるモータの回転が開始されると、タイマT1がスタートされる(S1)。モータに付属して設けられたエンコーダの出力パルス数が規定パルス数に達し(S2)、モータの回転が停止されるとき(S5)、タイマT1の計時時間は、上記アームが所定の動作を完了するのに要した実動作時間である。この実動作時間が、動作管理時間(1秒)と比較される(S6)。動作管理時間は、アームの動作に要すると予測される時間よりも長めに設定されている。実動作時間が動作管理時間未満であれば、動作管理時間の経過を待って(S7)、次の指令である上下指令が発行される(S9)。【効果】動作管理時間に基づき、ある程度正確な終了予定時刻が得られる。
請求項（抜粋）：
基板に処理を施すための基板処理部と、この基板処理部において、基板に処理を施すために駆動される被駆動部材と、この被駆動部材を駆動するための駆動手段と、上記被駆動部材が所定の動作を完了するために実際に要する実動作時間を検出するための実動作時間検出手段と、上記被動作部材が動作する時間を管理するために予め定められた動作管理時間を記憶する動作管理時間記憶手段と、上記実動作時間検出手段によって検出された実動作時間と、上記動作管理時間とを比較する手段と、上記実動作時間検出手段によって検出された実動作時間が上記動作管理時間未満であるときには、上記動作管理時間の経過を待って上記駆動手段に次の動作を実行させ、上記実動作時間検出手段によって検出された実動作時間が上記動作管理時間以上であるときには、直ちに上記駆動手段に次の動作を実行させる制御手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/02 Z
