特許

J-GLOBAL ID：200903097083655134

ガスレーザ発振装置

発明者： 山根 茂樹 ,  岩崎 泰
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-079303
公開番号（公開出願番号）：特開平6-291397
出願日： 1993年04月06日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】 マイクロ波励起式のガスレーザ発振装置において、発振効率およびレーザ出力の向上を図る。【構成】 マグネトロン13から放電部15にマイクロ波を供給し、放電部15内のレーザガスを励起させ光共振器によりレーザビームを得る。マグネトロン13はマイクロ波電源25によりマイクロ波を供給する。マイクロ波電源25は制御部26の駆動信号によって断続運転させるが、駆動信号の周波数を20KHz以上に設定している。

請求項（抜粋）：

マイクロ波を発生させるマイクロ波発生装置と、前記マイクロ波発生装置からのマイクロ波をレーザガスに供給し、レーザガスを励起させる放電部と、前記放電部内で励起されたレーザガスを共振させてレーザビームを発生させる光共振器と、前記マイクロ波発生装置の動作を制御する制御部とを備え、前記制御部は前記マイクロ波発生装置を継続運転する駆動信号を出力し、この駆動信号の周波数を20KHz以上に設定したガスレーザ発振装置。