特許

J-GLOBAL ID：200903097087312398

温度安定化装置

発明者： 福田 裕介 ,  小出 秀雄 ,  市川 元
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-221249
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062114
出願日： 1996年08月22日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】 外部から積極的に熱をとり、または、熱を与え、あるいは周囲環境の温度をコントロールして、測定対象物温度安定化時間を短縮する。【解決手段】 本発明の温度安定化装置1は、測定対象物(レンズ3)及び周囲環境の少なくとも一方の温度を制御する温度制御手段(ファン9)を具備する。さらに、周囲環境の温度と測定対象物の温度の偏差値に係数をかけて温度制御手段にフィードバックするフィードバック回路を設けてもよい。

請求項（抜粋）：

干渉計を用いた精密形状測定等の、周囲環境の温度と測定対象物の温度とを一致させる必要がある状況下において、該測定対象物及び周囲環境の少なくとも一方の温度を制御する温度制御手段を具備することを特徴とする温度安定化装置。

IPC (3件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/24

FI (3件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/00 G ,  G01B 11/24 D