特許
J-GLOBAL ID：200903097089978490
電子ビーム検査方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-031147
公開番号（公開出願番号）：特開平7-243834
出願日： 1994年03月01日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】本発明は、試料に対する検査を高速かつ高精度に行う。【構成】電子ビームのビーム形状を第1及び第2のアパーチャ(10,11) により矩形に形成し、これを試料(15)に対して走査し、このときの2次電子、反射電子を検出して試料のパターン幅を求める。
請求項（抜粋）：
電子ビームをパターンの形成された試料に走査し、このときこの試料に発生する荷電粒子を検出して前記試料に対する検査を行う電子ビーム検査方法において、前記電子ビームのビーム形状を矩形に形成することを特徴とする電子ビーム検査方法。
IPC (3件)：
G01B 15/00
, H01L 21/027
, H01L 21/66
