特許
J-GLOBAL ID：200903097090839682
レーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-258320
公開番号（公開出願番号）：特開平6-112554
出願日： 1992年09月28日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】放電を安定して行いレーザ出力を低下を防止する。【構成】少なくとも一方の電極6の電極幅Wが放電幅WAと略一致されて電界強度の高い電極構造にされる。しかし、レーザ媒質ガスのうちバッファガスを構成するNe ガスの分圧の割合が全バッファガスの圧力に対して50%以上にされることにより、上記電界強度が高くなることによる放電の不安定さが解消される。したがって、レーザ運転を長期間にわたって行ったとしても放電幅を変化させることなく安定に運転することが可能になるとともに、たとえ100Hz 以上の高繰返し周波数運転を行ったとしても放電が不安定となることもなくなる
請求項（抜粋）：
レーザチャンバの長手方向に沿って上下に対向して配設された2つの電極間で放電を行い、前記レーザチャンバ内に封入されたレーザ媒質ガスを励起してレーザ光を発生させるレーザ装置において、前記2つの電極のうち少なくとも一方の電極の幅を放電幅と略一致させるとともに、前記レーザチャンバ内に封入されるバッファガスのうちNe ガスが占める分圧の割合を全バッファガスの圧力の50%以上にしたことを特徴とするレーザ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/03 B
, H01S 3/03 J
