特許
J-GLOBAL ID：200903097091226048
外観検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-054476
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265323
出願日： 1993年03月16日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：
【要約】【目的】 ICのリードなどを検査する外観検査装置において、1台のカメラで被検査物の側面と裏面との両方を検査する外観検査装置を提供する。【構成】 カメラによって外観を検査する外観検査装置であって、被検査物であるIC4の置台であり、さらにIC4のリード4aの内側の側面の像を鏡面部8に反射させる側面像反射部材9と、前記鏡面部8に反射するリード4aの内側の側面の像(平坦度検査像11)とリード4aの裏面の像(横曲がり検査像12)との2つの像をIC4の裏側から取り込むように設置されたカメラ10と、前記カメラ10の出力であるカメラ画像とから構成されるものである。
請求項（抜粋）：
被検査物の外観を検査する装置であって、該被検査物の側面の像を反射させる鏡面部を備えた側面像反射部材が設けられることを特徴とする外観検査装置。
IPC (5件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06F 15/62 405
, G06F 15/64
, H01L 21/66
