共重合体及び感放射線性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：渡邉一平 , 木川幸治 , 樋口武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-149273
公開番号（公開出願番号）：特開2005-330366
出願日： 2004年05月19日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：

【課題】レジストパターンの幅の変動が小さく、放射線に対する感度が高く、更にエッチング耐性に優れた感放射線性樹脂組成物及びこの樹脂組成物に好適に用いることができる共重合体を提供する。【解決手段】下記式(1)で表される単位と、下記式(2)で表される単位とを含む共重合体及びこの共重合体を含有する感放射線性樹脂組成物を提供する。【化1】〔式(1)において、R1は炭素数1〜8の直鎖状のアルキル基を示す。〕【化2】〔式(2)において、R2は水素原子又は1価の有機基を示し、a及びbは1〜3の自然数である。〕【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1)で表される単位と、(B)下記式(2)で表される単位とを含む共重合体。

IPC (4件)：

C08F212/14 , G03F7/033 , G03F7/039 , H01L21/027

FI (4件)：

C08F212/14 , G03F7/033 , G03F7/039 601 , H01L21/30 502R

Fターム (36件)：

2H025AA01 , 2H025AA09 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4J100AB07P , 4J100AB07R , 4J100AL03R , 4J100AL08R , 4J100AR09Q , 4J100BA02R , 4J100BA03P , 4J100BA04Q , 4J100BA04R , 4J100BA05Q , 4J100BA06Q , 4J100BA12R , 4J100BA15R , 4J100BC03R , 4J100BC04R , 4J100BC09R , 4J100BC53R , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100DA01 , 4J100DA04 , 4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (1件)

レジスト材料及びパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-044528 出願人：信越化学工業株式会社

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