高温高湿型原子間力顕微鏡及び化学反応の観察・定量化方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩佐義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-082985
公開番号（公開出願番号）：特開平6-123744
出願日： 1992年03月06日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】温度100°C以下、相対湿度90%以下の高温高湿環境下で動作する原子間力顕微鏡(AFM)を提供する。【構成】貴金属系薄膜で被覆したAFM用探針、温度変動を±0.1°C、相対湿度変動を±1.0%以内に制御した熱膨張係数5×10-8(/°C)以下のAFM設置用容器8、樹脂およびガラスで被覆した探針駆動用Z軸アクチュエータ4と試料走査用XYポジショナ3、無反射ガラス容器内に真空封入した探針変位測定系6,7、セラミック製パッケージ及びガラス容器内に真空封入した探針駆動回路用前置き増幅器5を有する。【効果】従来まったく困難であった高温高湿環境に曝露した表面についてAFMによるその場観察が可能となり、腐食反応などの表面反応に関して多くの情報が得られる。

請求項（抜粋）：