カセツトチヤンバ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：守谷一雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-249849
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090384
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】【目的】カセットチャンバ内へのカセット搬送動作の作業性、安全性、確実性を向上する。【構成】カセットチャンバの扉53に、カセット4を載置するテーブル8に設けられたローラ81と係合するレール10を設ける。このレール10はカセットチャンバ内に設けられた可動台91のレールと同様の構成になっており、扉53のレール10上に置かれたテーブル8にカセット4を載せた後、このレール10に沿ってテーブル8を移動し可動台91のレール上へ搬入する。この際、テーブル8は位置決め手段によってカセットチャンバの所定位置に固定されるとともに、カセット4はテーブル8に設けられたリンクによりテーブル8上の所定位置に固定される。更にカセット4ないの基板2はストッパ15によってカセット4前面から飛出すことが防止される。

請求項（抜粋）：

被処理体を収納したカセットを上下動可能に収納するカセットチャンバにおいて、前記カセットを搬入・搬出するドアと前記カセットを載置するテーブルとを備え、前記ドアは前記テーブルを案内する案内手段を備えたことを特徴とするカセットチャンバ。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B65D 85/00 , B65D 88/52 , B65D 90/12

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-153548
特開昭62-058653
特開昭59-043542

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