特許
J-GLOBAL ID：200903097119203480
固体撮像素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-214938
公開番号（公開出願番号）：特開平5-053007
出願日： 1991年08月27日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：
【要約】【目的】オンチップレンズを利用し複雑な分光特性を有するカラーフィルタを安定して製造できる固体撮像素子を提供する。【構成】遮光膜1にて規定されたフォトダイオード2の開口はそれぞれ垂直方向に集光作用を持つ1次元状オンチップレンズ3が第1のフィルタ層6と第2のフィルタ層5に対応して設けられておりフォトダイオード2の基板表面近傍に焦点を持つように構成される。従って入射光4はそれぞれの構成されたフィルタ層に余裕をもって入射するため遮光膜1,第1,第2のフィルタ層6,5,オンチップレンズ3はそれぞれに対して大きな製造上の余裕度を持つことができる。
請求項（抜粋）：
電荷転送素子と、2次元状に配列された光電変換素子と、前記光電変換素子に積層されたカラーフィルタとを少くとも具備する固体撮像素子において、前記光電変換素子1画素につき、その表面近傍の2点以上に焦点を持つオンチップレンズを有する固体撮像素子。
IPC (4件)：
G02B 5/20 101
, H01L 27/14
, H04N 5/335
, H04N 9/07
