基板搬送装置および基板搬送方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：山本秀策 , 安村高明 , 大塩竹志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-090635
公開番号（公開出願番号）：特開2005-272113
出願日： 2004年03月25日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：

【課題】大型で薄型のガラス基板などを搬送する際に、清浄な雰囲気で基板両面を撓むことなく非接触で保持し、両面を同時にウエット処理可能な基板搬送装置を提供する。【解決手段】矩形状の枠からなるガラス基板保持部10の内周側に保持されているガラス基板吸着ユニット20によりガラス基板Gの端面または外周縁部を吸着格納してガラス基板Gを保持する。よって、ガラス基板Gをガラス基板保持部10に非接触で撓みなく保持でき、搬送ユニット30aおよび搬送ガイド30bによりガラス基板保持部10ごと搬送する。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

基板形状に対応した正方形状、矩形状または円形状の枠体からなる基板保持部と、該基板保持部の枠体内周側に配置され、該基板の端面または外周縁部を吸着格納可能とする基板吸着ユニットと、該基板保持部を、該基板を吸着保持した基板吸着ユニットと共に搬送可能とする搬送ユニットとを備えた基板搬送装置。

IPC (8件)：

B65G49/06 , B08B3/02 , B08B5/00 , B25J15/06 , B65G49/00 , B65G49/07 , H01L21/304 , H01L21/68

FI (10件)：

B65G49/06 A , B08B3/02 C , B08B3/02 D , B08B5/00 Z , B25J15/06 M , B65G49/00 A , B65G49/07 G , H01L21/304 643B , H01L21/304 648A , H01L21/68 A

Fターム (48件)：

3B116AA02 , 3B116AA03 , 3B116AB13 , 3B116AB14 , 3B116AB15 , 3B116BB23 , 3B116BB32 , 3B116BB46 , 3B116CD11 , 3B201AA02 , 3B201AA03 , 3B201AB13 , 3B201AB14 , 3B201AB15 , 3B201BB23 , 3B201BB32 , 3B201BB46 , 3B201BB92 , 3B201BB98 , 3B201CD11 , 3C007AS01 , 3C007AS24 , 3C007CS05 , 3C007DS02 , 3C007FS01 , 3C007FT10 , 3C007FT17 , 3C007NS09 , 3C007NS12 , 5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031FA18 , 5F031GA24 , 5F031GA26 , 5F031GA35 , 5F031GA60 , 5F031HA14 , 5F031HA48 , 5F031HA57 , 5F031HA60 , 5F031LA01 , 5F031MA23 , 5F031NA16 , 5F031NA18 , 5F031PA13 , 5F031PA18 , 5F031PA23

引用特許：

出願人引用 (3件)

特許第3384666号
板状部材の搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-133035 出願人：第一施設工業株式会社, 永田徹三
乾燥装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-006887 出願人：株式会社マックステック

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