ガス劣化検出装置およびガス劣化検出機能を有するエキシマレーザ装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富田和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-094546
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291650
出願日： 1992年04月14日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】エキシマレーザ容器中のハロゲンの濃度を小型で短時間で検知する検出装置と、このような検出装置を搭載したエキシマレーザ装置を提供する。【構成】ハロゲンを含むガスを充填されたレーザ容器に連通した検出用容器と、前記容器中に配置された一対の第1電極と、前記第1電極に短パルス電圧を印加するための短パルス電圧発生手段と、前記第1電極間の電圧および前記第1電極間に流れる電流を測定する測定手段とを有する。

請求項（抜粋）：

ハロゲンを含むガスを充填されたレーザ容器に連通した検出用容器と、前記容器中に配置された一対の第1電極と、前記第1電極に短パルス電圧を印加するための短パルス電圧発生手段と、前記第1電極間の電圧および前記第1電極間に流れる電流を測定する測定手段とを有することを特徴とするガス劣化検出装置。

IPC (3件)：

H01S 3/036 , H01S 3/00 , H01S 3/134

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-029386
特開平4-029385
特開平4-029386

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