特許

J-GLOBAL ID：200903097122793736

ガス分析方法およびガス分析装置

発明者： 奥田 浩史
出願人/特許権者： エスペック株式会社
代理人 (1件)： 曽々木 太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-159857
公開番号（公開出願番号）：特開2002-350382
出願日： 2001年05月29日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】 単一の素子からなるセンサ素子の出力に基づいて、混合ガスのガス分析が精度よくなし得るガス分析方法およびガス分析装置を提供する。【解決手段】 センサ素子10を用いた混合ガスのガス分析をなすものであって、複数周波数の交流電圧を前記センサ素子10に印加したときの同センサ素子10の出力変化に基づいてガス分析をなすものである。

請求項（抜粋）：

センサ素子を用いた混合ガスのガス分析をなすガス分析方法であって、複数周波数の交流電圧を前記センサ素子に印加したときの同センサ素子の出力変化に基づいてガス分析をなすことを特徴とするガス分析方法。

IPC (4件)：

G01N 27/22 ,  G01N 27/02 ,  G01N 27/04 ,  G01N 27/12

FI (4件)：

G01N 27/22 A ,  G01N 27/02 A ,  G01N 27/04 A ,  G01N 27/12 E

Fターム (27件)：

2G046AA09 ,  2G046BA01 ,  2G046BB02 ,  2G046DC14 ,  2G046DC16 ,  2G046DC18 ,  2G046EB01 ,  2G046FA01 ,  2G046FB02 ,  2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF03 ,  2G060AF06 ,  2G060AF07 ,  2G060AF10 ,  2G060AG11 ,  2G060BA01 ,  2G060BA09 ,  2G060BB08 ,  2G060EB04 ,  2G060HA02 ,  2G060HC08 ,  2G060HC13 ,  2G060HC19 ,  2G060HE03 ,  2G060KA04