特許
J-GLOBAL ID：200903097126100115
レジスト塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-199653
公開番号（公開出願番号）：特開平10-027750
出願日： 1996年07月09日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 複数個のノズルを、デスペンスアームで、その待機位置からウエハの上方へ移送するに際し、デスペンスアームの単一の円弧運動のみで、待機中の複数個の塗布ノズルを同一位置で選択取り出し可能なようにする。【解決手段】 カップ4周縁近傍に待機配置したレジスト液を滴下させる複数個の塗布ノズルの搬送手段は、先端にノズル5を捕捉するノズルチヤック6aを有すると共に後端は、上下往復自在で且つ左右回動可能に支持したデスペンスアーム11より構成する。一方カップ周縁近傍に待機配置した複数個の塗布ノズルを、少なくとも2個のノズルを有する複数個のノズルカップに、それぞれ組分けして取り付ける。この組分けノズルカップを水平方向に回動可能に支持する。複数個のノズルは、各ノズルカップの回動で常に同一位置にそれぞれ移動可能となる。この同一位置で、デスペンスアーム11のノズルチヤック6aが複数個のノズルをそれぞれ選択捕捉する。
請求項（抜粋）：
カップ周縁近傍に待機配置したレジスト液を滴下させる複数個の塗布ノズルと、該塗布ノズルをその待機位置からウエハの上方へ搬送するノズル搬送手段とを備えたレジスト塗布装置において、前記ノズル搬送手段は、先端にノズルを捕捉するノズルチヤックを有すると共に後端は、上下往復自在で且つ左右回動可能に支持したデスペンスアームより成り、一方前記カップ周縁近傍に待機配置した複数個の塗布ノズルは、少なくとも2個のノズルを有する複数個のノズルカップに、それぞれ組分けして取り付けると共にこの組分けされたノズルカップを水平方向に回動可能に支持し、該各ノズルカップの回動で複数個のノズルを常に同一位置に移動可能に設けると共に、この同一位置で、前記デスペンスアームのノズルチヤックが複数個のノズルをそれぞれ選択捕捉するように構成したことを特徴とするレジスト塗布装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B05C 5/00
, B05C 11/08
, G03F 7/16 501
H01L 21/30 564 Z
, B05C 5/00 Z
, B05C 11/08
, G03F 7/16 501
