特許

J-GLOBAL ID：200903097129425732

はんだボールの整列検査装置

発明者： 綿住 輝博
出願人/特許権者： 日立ビアメカニクス株式会社
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-171234
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004325
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 照明装置の外形寸法を小さく、かつ安価なはんだボールの整列検査装置を提供すること。【解決手段】 マスク2の表面2aに垂直な面内で、ラインカメラ1の受光方向が表面2aに垂直になるように配置する。また、ラインカメラ1の一方の側に帯状の光源4aを、他方の側に、平面鏡10を反射面11が光源4aに対向しかつ反射面11が表面2aに垂直になるようにして配置する。そして、光源4aの向きを、照射光の一部が反射面11を介してラインカメラ1に対向する表面2aの近傍に入射するように位置決めする。

請求項（抜粋）：

照明装置によりはんだボール載置台の表面に光を照射し、受光装置に入射する前記表面からの反射光により、前記表面上のはんだボールの整列状態を調べるはんだボールの整列検査装置において、前記照明装置を、1個の線状光源と1個の平面鏡とで構成し、前記表面に垂直な面内で、前記受光装置を、受光方向が前記表面に垂直になるように配置し、前記平面鏡を、反射面が前記表面に垂直かつ向きを前記受光装置側にして配置し、前記線状光源を、前記受光装置の他方の側で照射光の一部が前記反射面を介して前記受光装置に対向する前記表面の近傍に入射するように配置することを特徴とするはんだボールの整列検査装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  H01L 21/60

FI (2件)：

G01B 11/00 H ,  H01L 21/92 604 H

Fターム (23件)：

2F065AA02 ,  2F065AA16 ,  2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC26 ,  2F065DD02 ,  2F065FF01 ,  2F065FF42 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG18 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ00 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL01 ,  2F065LL12 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ32