特許

J-GLOBAL ID：200903097130727483

処理液の消泡装置、処理液の消泡方法、処理液の循環装置および処理液の循環方法

発明者： 杉岡 亮一 ,  蔭山 哲也
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-066522
公開番号（公開出願番号）：特開2000-254408
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：

【要約】【課題】 安価に構成することができ、泡を効率よく消泡することが可能な消泡装置を提供すること。【解決手段】 消泡装置は、処理液の泡17が供給される内槽18と、内槽18の内壁に固定された複数の羽部材20と、内槽18を回転させるモータ21と、内槽18の同心円上に配置され、複数の小径孔22を通過した処理液23を回収する外槽19とを含む。内槽18の回転によって、遠心力が加わり泡17が破泡して液化される。

請求項（抜粋）：

処理液の泡を遠心力によって破泡するための破泡手段と、前記破泡手段によって破泡されて液化された処理液を回収するための回収手段とを含む処理液の消泡装置。

IPC (2件)：

B01D 19/02 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

B01D 19/02 ,  H01L 21/30 569 A ,  H01L 21/30 572 B

Fターム (5件)：

4D011BA07 ,  5F046LA14 ,  5F046LA19 ,  5F046MA07 ,  5F046MA10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 水洗水の消泡装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-219700   出願人：日本ペイントプラント・エンジニアリング株式会社
• 特開昭60-054715