特許

J-GLOBAL ID：200903097142903694

誘電体用セラミックスの製造方法

発明者： 佐久間 健人 ,  宮沢 薫一 ,  馬場 芳美 ,  水野 祥樹
出願人/特許権者： 株式会社アドバンス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-280292
公開番号（公開出願番号）：特開平7-113177
出願日： 1993年10月14日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：

【要約】【目的】 金属アルコキシドを原料とした誘電体用セラミックスを製造する方法を提供する。【構成】 金属アルコキシドのアルキルアルコール溶液を処理対象物表面に塗布し、超臨界状態でアルキルアルコールを乾燥させた後、焼成することにより処理対象物表面に誘電体用セラミックスの厚膜の製造を行う。

請求項（抜粋）：

金属アルコキシドのアルキルアルコール溶液を処理対象物表面に塗布し、超臨界状態でアルキルアルコールを乾燥させた後、焼成することにより処理対象物表面に誘電体用セラミックスの厚膜を形成することを特徴とする誘電体用セラミックスの製造方法。

IPC (2件)：

C23C 18/12 ,  H01L 41/24