特許

J-GLOBAL ID：200903097145181053

静電アクチュエーター用電極構造及びその製造方法

発明者： 大川 光司 ,  津田 誠輔 ,  樋口 俊郎
出願人/特許権者： 三菱電線工業株式会社 ,  樋口 俊郎
代理人 (1件)： 高島 一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-111563
公開番号（公開出願番号）：特開平7-322644
出願日： 1994年05月25日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】 ピンホールやボイド等の不均一部分の少ない絶縁部を、導体や絶縁電線の表面に設けることによって、高い絶縁性を有し、この高い絶縁性が劣化し難い静電アクチュエーター用電極構造及びその製造方法を提供することである。【構成】 基体1上に導体2又は絶縁電線4が配置されてなる静電アクチュエーター用電極構造であって、少なくとも導体又は絶縁電線の表面に、有機モノマーを蒸着、重合させてなる絶縁部3を有することを特徴とする電極構造及びその製造方法である。導体間が接近している場合は、その間隙は絶縁部によって充填されるのが良い。絶縁部の形成は導体を基体上に配置する前に該導体の表面に対してなされたものでもよい。有機モノマーはパラキシレンが良く、その蒸着は化学蒸着が最も好ましい。

請求項（抜粋）：

基体上に導体又は絶縁電線が配置されてなる静電アクチュエーター用電極構造であって、少なくとも導体又は絶縁電線の表面に、有機モノマーを蒸着、重合させてなる絶縁部を有することを特徴とする静電アクチュエーター用電極構造。