特許

J-GLOBAL ID：200903097145862271

基板搬送アーム

発明者： 石田 敏道 ,  松井 卓也
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-307694
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133694
出願日： 1998年10月29日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】 液晶用ガラス基板などを搬送する搬送アームにおいて、狭い基板間ピッチのカセット内で、反りのある基板を確実に真空吸着して搬送することを目的とする。【解決手段】 搬送アーム上の複数の真空吸着部9は、真空吸着穴15と平面状シート材10からなり、真空吸着穴15と平面状シート材10の中央部に設けた真空吸着穴11を重ね、平面状シート材10の中央付近だけをアーム2上に接合した構造とすることで、基板ピッチの狭いカセット内の反りのある基板を搬送する場合でも、カセット内の狭い基板間に挿入する搬送アームを薄くできるとともに、反りのある基板でも真空吸着ミスの無い信頼性の高い基板搬送が得られる。

請求項（抜粋）：

基板を真空吸着して搬送する搬送アームにおいて、基板を保持するアーム上の複数の真空吸着部は、真空吸着穴と平面状シート材からなり、真空吸着穴と前記平面状シート材の中央部に設けた貫通穴を重ね、平面状シート材の中央付近だけを前記アーム上に接合して、平面状シート材の外周部が基板側に変形可能にした基板搬送アーム。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07

FI (2件)：

H01L 21/68 B ,  B65G 49/07 G

Fターム (10件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA05 ,  5F031GA08 ,  5F031GA43