特許
J-GLOBAL ID：200903097146304370
外観検査装置、外観検査方法及び外観検査プログラムを記録した記録媒体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中澤 昭彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-006552
公開番号（公開出願番号）：特開平11-201908
出願日： 1998年01月16日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】疑似欠陥の発生を防止し、位置合せの精度を高くしても必要な計算量や記憶容量が増加することがなく、外観検査を行うことができるようにする。【解決手段】被検査物の検査画像と参照画像との画像微分部1と、画像を分割する画像分割部3と、検査画像と参照画像とを重ね合せるピクセル精度位置合せ部4と、エッジと直交する方向の画素値の絶対値の濃淡値分布に対して単峰性の関数をフィッティングする関数フィッティング部5と、サブピクセル精度位置ずれ算出部6と、対応する2つのエッジについて、エッジと直交する方向について画素値の濃淡分布を、単峰性の関数形に従うように画素値を書き換えることにより修正微分画像を生成する修正微分画像生成部7と、サブピクセル精度の位置ずれに基づいて、検査画像の修正分割微分画像と参照画像の修正分割微分画像とを比較し、被検査物の欠陥を検出する画像比較部8と、を有する。
請求項（抜粋）：
被検査物についての検査画像と、その検査画像と比較するための参照画像とが入力され、各々の入力された画像を空間的に微分するとともに、所定の分割数に従って分割して、分割微分画像を生成する画像分割微分手段と、その画像分割微分手段によって生成された分割微分画像毎に検査画像と参照画像との間で、画素サイズ精度であるピクセル精度で位置合せを行って検査画像と参照画像とを重ね合せるピクセル精度位置合せ手段と、前記各分割微分画像において、画素値の絶対値があらかじめ与えられたしきい値より大きい点をエッジとみなし、そのエッジの方向を求め、エッジと直交する方向について画素値の絶対値の濃淡値分布を求め、これに対して所定の単峰性の関数をフィッティングし、その関数が極大をとる点の座標である極大値点を画素サイズ以下の精度であるサブピクセル精度で求め、これをエッジの座標とする関数フィッティング手段と、前記ピクセル精度位置合せ手段における画像同士の重ね合せの後、検査画像上のあるエッジについて、そのエッジの近傍に対応する参照画像上の領域にエッジがあるならばこれら2つのエッジは対応関係にあるとみなし、お互いのエッジ位置の差をサブピクセル精度の位置ずれとして算出するサブピクセル精度位置ずれ算出手段と、対応づけられた2つのエッジについて、エッジと直交する方向について画素値の濃淡分布を、あらかじめ与えられた単峰性の関数形に従うように画素値を書き換えることにより修正微分画像を生成する修正微分画像生成手段と、前記サブピクセル精度位置ずれ算出手段によって算出された前記各分割微分画像のサブピクセル精度の位置ずれに基づいて、検査画像の修正分割微分画像と参照画像の修正分割微分画像とを比較し、前記被検査物の欠陥を検出する画像比較手段と、を有することを特徴とする外観検出装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, H01L 21/66
G01N 21/88 E
, G01B 11/24 F
, G01B 11/24 K
, H01L 21/66 J
