特許
J-GLOBAL ID:200903097148509270

ラミネート装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 樋口 盛之助 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-128270
公開番号(公開出願番号):特開2001-313407
出願日: 2000年04月27日
公開日(公表日): 2001年11月09日
要約:
【要約】【課題】 被ラミネート体の加圧手段にダイアフラムを使用することなく、効果的に被ラミネート体を加圧できる加圧手段を具備したラミネート装置を提供すること。【解決手段】 気密に合着できる下チャンバケース1と上チャンバケース2の内部に被ラミネート体を収容して上下チャンバ1,2内を真空引きし、被ラミネート体を加熱,加圧してラミネート加工をするラミネート装置において、板状の加熱体を下チャンバケース1内又は上チャンバケース2内に設置すると共に、板状加圧体を上チャンバケース2内又は下チャンバケース1内に設け、そこで下向き又は上向きに昇降させることにより、前記被ラミネート体を加圧するようにした。
請求項(抜粋):
気密に合着できる下チャンバケースと上チャンバケースの内部に被ラミネート体を収容して上下チャンバ内を真空引きし、被ラミネート体を加熱,加圧してラミネート加工をするラミネート装置において、板状の加熱体を下チャンバケース内又は上チャンバケース内に設置すると共に、板状加圧体を上チャンバケース内又は下チャンバケース内に設け、そこで下向き又は上向きに昇降させることにより、前記被ラミネート体を加圧するようにしたことを特徴とするラミネート装置。
IPC (2件):
H01L 31/042 ,  B29C 63/02
FI (2件):
B29C 63/02 ,  H01L 31/04 R
Fターム (11件):
4F211AD04 ,  4F211AD05 ,  4F211AD08 ,  4F211AH33 ,  4F211SA07 ,  4F211SC07 ,  4F211SD01 ,  4F211SP03 ,  4F211SP33 ,  5F051BA14 ,  5F051JA05

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