特許
J-GLOBAL ID:200903097159564028

レーザ加工装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中井 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-316183
公開番号(公開出願番号):特開平11-138279
出願日: 1997年10月31日
公開日(公表日): 1999年05月25日
要約:
【要約】【課題】 故障診断に便利な動作状態履歴記憶機能を備えたレーザ加工装置【解決手段】レーザ発振器、電源装置、ガス循環装置、真空排気装置、レーザビーム導光系統およびこれらのための各制御装置等を備えたレーザ加工装置において、前記レーザ加工装置の各部の状態を検出する複数のセンサと、前記各センサの出力を入力とし前記レーザ加工装置の各部の動作状態を導出する演算手段と、前記複数のセンサの各出力および前記演算手段の出力を時系列に一定期間記憶し必要に応じて読み出し可能な記憶再生手段とを備えたレーザ加工装置。
請求項(抜粋):
レーザ発振器、電源装置、ガス循環装置、真空排気装置、レーザビーム導光系統およびこれらのための各制御装置等を備えたレーザ加工装置において、前記レーザ加工装置の各部の状態を検出する複数のセンサと、前記各センサの出力を入力とし前記レーザ加工装置の各部の動作状態を導出する演算手段と、前記複数のセンサの各出力および前記演算手段の出力を時系列に一定期間記憶し必要に応じて読み出し可能な記憶再生手段とを備えたレーザ加工装置。
FI (2件):
B23K 26/00 Q ,  B23K 26/00 M

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