特許
J-GLOBAL ID：200903097170610678
薄膜機械特性の測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-134974
公開番号（公開出願番号）：特開平6-066698
出願日： 1992年05月27日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】 機械量センサやアクチュエータの機械的構造物である薄膜の機械定数を正確に測定することにより、構造およびプロセス条件の最適化を行うことを目的にする。【構成】 薄膜からなる片持ち構造体およびブリッジ構造体100に駆動回路101から静電気力を印加して生じた変位を力の平衡の崩れあるいは共振特性を利用して検出手段102で測定することによって、薄膜のヤング率と残留応力等の機械定数を測定する装置を示す。
請求項（抜粋）：
一端を固定し他方の端を自由にした薄膜からなる片持ち梁構造体および両方の端を固定した薄膜からなるブリッジ構造体と当該構造体を静電気力により変形させる手段および当該構造体の変形の検出を行なう手段とを用いて薄膜のヤング率および残留応力等の機械特性を測定する装置。
IPC (3件)：
G01N 3/20
, G01L 1/00
, G01M 5/00
