特許
J-GLOBAL ID：200903097171973626
ウェーハ面取り機における搬送アーム水平駆動装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-127021
公開番号（公開出願番号）：特開平8-306759
出願日： 1995年04月27日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【目的】 水平面内旋回及び水平方向移動自在に搬送アームを構成して、ウェーハ面取り機内でウェーハを搬送するウェーハ搬送装置において、旋回中心から周囲の装置までの距離を短くすることが可能で、旋回するときの慣性モーメントが小さい搬送アーム水平駆動装置を提供する。【構成】 搬送アーム水平駆動装置を上下2段の案内機構とした。【効果】 搬送アームは下移動体の移動距離と上移動体の移動距離とを加算した距離だけ移動するので、搬送アーム水平駆動装置の搬送アーム移動方向の長さを短くすることができる。
請求項（抜粋）：
水平面内旋回及び水平方向移動自在に搬送アームを構成して、ウェーハ面取り機内でウェーハを搬送するウェーハ搬送装置における、その搬送アームを水平方向に駆動する装置であって、装置ベースと、その装置ベースの上面に固着された下リニアガイドと、その下リニアガイドに、水平方向移動自在に支持された下移動体と、その下移動体の上面に固着された上リニアガイドと、その上リニアガイドに、前記下移動体と同一方向移動自在に支持された上移動体と、その上移動体に固着された前記搬送アームと、前記下移動体を駆動する下駆動機構と、前記上移動体を駆動する上駆動機構と、前記下移動体に取り付けられ、前記下駆動機構及び前記上駆動機構を同時に駆動するモーターと、から構成されたことを特徴とするウェーハ面取り機における搬送アーム水平駆動装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B24B 9/00
, B65G 49/07
H01L 21/68 A
, B24B 9/00 L
, B65G 49/07 D
