パターン検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-254951
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094759
出願日： 1997年09月19日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】撮像回数が少なく、検査時間を短縮する。【解決手段】進退移動される検査ユニット64に2台のカメラ69A,69Bを設置する。ワーク2が搬送機構39によって検査ステージ12に搬送されてくると、一方のカメラ69Aがワーク2の右半分を撮像し、他方のカメラ69Bがワーク2の左半分を撮像する。

請求項（抜粋）：

ワーク上に形成したパターンをカメラで撮像し、その良・不良を自動的に検査するパターン検査装置において、ワーク表面の各領域を撮像する複数台のカメラを検査ステージに設置したことを特徴とするパターン検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , H04N 7/18

FI (2件)：

G01N 21/88 E , H04N 7/18 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

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