特許
J-GLOBAL ID:200903097176701764
干渉計デバイス及び干渉法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
吉武 賢次
, 永井 浩之
, 岡田 淳平
, 勝沼 宏仁
, 加島 広基
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-293492
公開番号(公開出願番号):特開2009-150875
出願日: 2008年11月17日
公開日(公表日): 2009年07月09日
要約:
【課題】干渉計デバイス及び干渉法を開示する。【解決手段】一実施形態において、デバイスは、第1の平均波長λLEの放射線を放射する電磁放射線源と、第1のアスペクト比を持つ位相格子と、第2のアスペクト比を持つ吸収格子と、検出器と、を備えている。電磁放射線源、位相格子、吸収格子、及び検出器は、放射線に関して互いに連結されている。吸収格子は、検出器と位相格子との間に配置されており、電磁放射線源は線源格子の前方に配置されており、位相格子は、放射された放射線において、Πよりも小さい位相シフトを生じさせるよう設けられている。【選択図】図2
請求項(抜粋):
放射線を放射する電磁放射線源(510)と、
複数の格子バーを含み、第1のアスペクト比を持つ位相格子(522)と、
第2のアスペクト比を持つ吸収格子(523)と、
検出器(540)と、
を備え、
前記電磁放射線源(510)、前記位相格子(522)、前記吸収格子(523)、及び前記検出器(540)は、放射線に関して互いに連結されており、
前記吸収格子(523)は、前記検出器(540)と前記位相格子(522)との間に配置されており、
前記電磁放射線源(510)は前記線源格子の前方に配置されている、干渉計デバイス(500)において、
前記位相格子(522)は、前記格子バーを通過する放射線の少なくとも一つの波長において、当該少なくとも一つの波長に関して、前記格子バーの間を通過する放射線に対してΠよりも小さい位相シフト(ΔΦ)を生じさせるよう設けられている、ことを特徴とする干渉計デバイス(500)。
IPC (3件):
G01N 23/04
, A61B 6/00
, G01N 21/45
FI (3件):
G01N23/04
, A61B6/00 330Z
, G01N21/45 A
Fターム (39件):
2G001AA01
, 2G001AA03
, 2G001AA09
, 2G001AA10
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA02
, 2G001DA06
, 2G001EA01
, 2G001EA06
, 2G001EA09
, 2G001FA01
, 2G001GA01
, 2G001GA06
, 2G001JA01
, 2G001JA08
, 2G001KA01
, 2G001KA12
, 2G001LA01
, 2G001PA12
, 2G059AA05
, 2G059AA06
, 2G059EE01
, 2G059EE09
, 2G059FF01
, 2G059GG03
, 2G059HH01
, 2G059HH02
, 2G059HH05
, 2G059JJ02
, 2G059JJ05
, 2G059KK01
, 4C093AA07
, 4C093CA04
, 4C093EA11
, 4C093EA20
, 4C093EB24
, 4C093EB30
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (9件)
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