特許
J-GLOBAL ID：200903097176874758
半導体ウエハの形状認識装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇井 正一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-045463
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258056
出願日： 1993年03月05日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 本発明は半導体ウエハの形状認識装置に関し、半導体ウエハ上に形成された回路パターンによらず、正確な形状認識が安定的におこなえるようにすることを目的とする。【構成】 半導体ウエハ(100)を照明する照明手段1と、半導体ウエハ100で正反射された照明光を直接受けない位置に配置され半導体ウエハ100の像を撮影してビデオ信号を出力する撮影手段3と、ビデオ信号を処理して半導体ウエハ100の形状を認識するウエハ形状認識手段6とを備える半導体ウエハの形状認識装置において、照明手段(1)より出射される照明光の光路に設けられた第一偏光手段7と、半導体ウエハ100から撮影手段3に入射する撮影光の経路内に設けられた第二偏光手段8とを備えるように構成する。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハ(100)を照明する照明手段(1)と、前記半導体ウエハ(100)で正反射された照明光を直接受けない位置に配置され、前記半導体ウエハ(100)の像を撮影してビデオ信号を出力する撮影手段(3)と、前記ビデオ信号を処理して前記半導体ウエハ(100)の形状を認識するウエハ形状認識手段(6)とを備える半導体ウエハの形状認識装置において、前記照明手段(1)より出射される照明光の光路に設けられた第一偏光手段(7)と、前記半導体ウエハ(100)から前記撮影手段(3)に入射する撮影光の経路内に設けられた第二偏光手段(8)とを備えることを特徴とする半導体ウエハの形状認識装置。
IPC (4件)：
G01B 11/30
, H01L 21/66
, H01L 21/68
, H01L 21/78
