特許
J-GLOBAL ID：200903097181156510
X-Yステージ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-118665
公開番号（公開出願番号）：特開平6-328334
出願日： 1993年05月20日
公開日（公表日）： 1994年11月29日
要約：
【要約】【目的】本発明は半導体製造装置及び工作機械の位置決めステージとして用いられるX-Yステージに関し、ステージ移動の高精度化,高速化及び装置の小型化を図ることを目的とする。【構成】第1のX方向ガイドレール22,23 と、第1のY方向ガイドレール24,25と、第2のX方向ガイドレール26,27 と、第2のY方向ガイドレール28,29 と、上記第1のX方向ガイドレール22,23 に移動可能に係合するX方向係合部 35x〜38x と、第2のY方向ガイドレール28,29 に移動可能に係合するY方向係合部とを一体的に設けてなる第1の案内機構30,31 と、第1のY方向ガイドレール24,25 に移動可能に係合するY方向係合部 35y〜38y と、第2のX方向ガイドレール26,27 に移動可能に係合するX方向係合部 48X〜51X とを一体的に設けてなる第2の案内機構32,33 とにより構成する。
請求項（抜粋）：
ベースに対し、被処理部材を搭載する基台(21)を直交するX軸方向及びY軸方向に移動させるX-Yステージであって、該基台(21)に配設されており、上記X軸方向に延在する第1のX方向ガイドレール(22,23)と、該基台(21)に配設されており、上記Y軸方向に延在する第1のY方向ガイドレール(24,25)と、該ベースに配設されており、上記X軸方向に延在する第2のX方向ガイドレール(26,27)と、該ベースに配設されており、上記Y軸方向に延在する第2のY方向ガイドレール(28,29)と、該第1のX方向ガイドレール(22,23)に上記X方向に移動可能に係合するX方向係合部(35x〜38x)と、該第2のY方向ガイドレール(28,29)に上記Y方向に移動可能に係合するY方向係合部とを一体的に設けてなる第1の案内機構(30,31)と、該第1のY方向ガイドレール(24,25)に上記Y方向に移動可能に係合するY方向係合部(35y〜38y)と、該第2のX方向ガイドレール(26,27)に上記X方向に移動可能に係合するX方向係合部(48X〜51X)とを一体的に設けてなる第2の案内機構(32,33)とにより構成されることを特徴とするX-Yステージ。
IPC (2件)：
引用特許：
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