特許
J-GLOBAL ID：200903097181813830
真空ポンプ装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-141214
公開番号（公開出願番号）：特開平8-312600
出願日： 1995年05月15日
公開日（公表日）： 1996年11月26日
要約：
【要約】【目的】 エゼクタの吸引効率と循環ポンプのポンプ効率を高く維持することのできる真空ポンプ装置を得ること。【構成】 タンク1の上部にエゼクタ2を取り付ける。タンク1内にディフュ-ザ6の下端部7を開口する。ディフュ-ザ6の外周に隔壁部材4,5を配置する。ディフュ-ザ6の下方に衝突板8を取り付ける。タンク1下部の開口11と循環ポンプ3を接続し、循環ポンプ3の吐出口12とエゼクタ2を接続する。
請求項（抜粋）：
少なくともエゼクタの一部またはディフュ-ザの一部をタンク内に配置して、該タンクとエゼクタを循環ポンプを介して接続したものにおいて、エゼクタを鉛直方向の上から下方向に配置し、ディフュ-ザの外周に隔壁部材を配置すると共に、ディフュ-ザの出口部の下方に流体の衝突する衝突部を取り付けたことを特徴とする真空ポンプ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04F 5/10 C
, F04F 5/04 B
