特許

J-GLOBAL ID：200903097181877633

マイクロセンサ及びそれを用いた制御システム

発明者： 土谷 茂樹 ,  鈴木 清光 ,  嶋田 智 ,  三木 政之 ,  松本 昌大 ,  村上 進 ,  小出 晃 ,  栗田 正弘 ,  海老根 広道
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-063154
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172846
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【目的】マイクロセンサ,アクチュエータにおける可動部と固定部または可動部同士の付着を防止し、動作不可能な状態に陥ることを防止する。【構成】可動電極5と固定電極6との付着を防止する手段を設ける。具体的な構成としては、固定電極6と弾性体4によって支持された可動電極5間に異常高電圧が印加され、または両電極5,6に外部から静電気などの電荷が充電されても電気的絶縁層7に電界が加わらない、又は電界強度が小さくなる手段(例えば、可動電極5と同電位に設定された同電位電極8)を設ける。また、可動電極が過大変位した時の絶縁膜7と固定電極6との接触面積を微小化するような手段を設ける。【効果】可動電極と固定電極との付着を防止でき、量産時においては歩留まりが向上し、使用時においてはマイクロセンサ又はそれを用いた車両制御システムの信頼性が向上する。

請求項（抜粋）：

可動電極部と、該可動電極部と対向して設けられた固定電極部とを有するマイクロセンサにおいて、前記可動電極部と前記固定電極部との付着力を低減させる手段を設けたことを特徴とするマイクロセンサ。

IPC (2件)：

G01P 15/125 ,  B60K 23/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平2-238368
  
• 特公昭59-011867
  
• 特開平1-195368
  
• 特開平2-098669
  
• 特開平3-146872