特許

J-GLOBAL ID：200903097184082720

データ処理装置と欠陥検査用装置及びそのデータ処理方法

発明者： 岡部 正治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-081524
公開番号（公開出願番号）：特開平8-279036
出願日： 1995年04月06日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】【目的】 高分解能で広い領域の表面欠陥検査を行う場合の欠陥検査として真に必要な部分のデータ及びその座標の抽出方法及びその装置の提案。【構成】 走査対象である領域全体を走査することにより得られた入力信号を、順次記憶するデータ処理装置において、入力信号は、量子化され個々のデータとしてデータ処理装置の同期信号に対応させて時間的に規定できる。従ってその入力信号が所定の条件を満足するかを判断し、その条件を満足しない入力信号の時間幅、及びその時間幅の前後に所定の時間幅分広げて取り込み範囲とする。それと同時に走査対象の領域を走査する同期信号から走査位置の座標を発生させ、取り込み範囲に従って、入力信号の中からデータ及びその座標を抽出するように構成。

請求項（抜粋）：

走査対象である領域全体を走査することにより得られた入力信号を、順次記憶するデータ処理装置において、前記入力信号が、所定の条件を満足するかを判断する手段と、前記の所定条件を満足しない入力信号の時間幅、及びその時間幅の前後に所定の時間幅分広げて取り込み範囲とする手段と、前記の取り込み範囲に従い、前記の入力信号よりデータとして抽出する手段を備えたことを特徴とするデータ処理装置。

IPC (3件)：

G06T 1/00 ,  G06T 1/60 ,  H04N 1/409

FI (3件)：

G06F 15/64 J ,  G06F 15/64 450 F ,  H04N 1/40 101 C