チャンバー付きファンフィルターユニット及びクリーンルーム

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-101149
公開番号（公開出願番号）：特開平9-287791
出願日： 1996年04月23日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【課題】既設の全面層流型クリーンルームの間引き運転の際に容易に適用でき、間引き箇所の清浄度を向上させるファンフィルターユニット及びクリーンルームを提供する。【解決手段】天井裏スペース12に間引きされたファンフィルターユニット(FFU)14、14...が配設され、床面にグレーチング6が敷設される。FFU14を下面が開口した箱型状の天井吸込用小型チャンバー36で覆い、空気吹出口34Aの周囲、即ち、主気流による滞留域が発生する部分に空気吸込口38を形成する。そして、ファン32により滞留域に停滞している汚染空気の吸込と清浄空気の吹出を同時に行う。また、チャンバー37上面の孔(取込口)37に設けた弁板44の角度を調整することで、室内からの空気吸込量と天井空間からの空気取込量のバランスを容易に調整でき、滞留域の塵埃を効率よく除去できる。

請求項（抜粋）：

室内天井面に配設され、ファンとフィルターから成り天井から床面に向かって清浄空気を吹き出すファンフィルターユニットと、天井裏空間内に設置され、前記ファンフィルターユニットを上側から包囲するチャンバーであって、下面が開口し、前記フィルターで除塵濾過された清浄空気が吹き出される吹出口の周囲に室内から空気を取り入れる吸込口が形成されるとともに、上面に天井空間から空気を取り入れる取込口が形成されたチャンバーと、を備え、前記取込口から空気を取り込んで前記吹出口から吹き出すとともに、前記吹出口から吹き出す清浄空気の気流の周辺に生成する室内の滞留域の空気を前記ファンの回転により前記吸込口からチャンバー内に吸い込み、前記フィルターを介して浄化して前記吹出口から吹き出すようにしたことを特徴とするチャンバー付きファンフィルターユニット。

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