特許
J-GLOBAL ID：200903097190790290
パルス電子ビーム照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中沢 謹之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-354918
公開番号（公開出願番号）：特開平7-192681
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】 電子ビームの発生時におけるタイムラグをなくし、かつビーム発生効率を高め、更に出力スイッチの放電のバラツキを回避することを目的とする。【構成】 カソード、アノード間にまたがってプレパルス発生用のコンデンサを接続し、このコンデンサを、パルス整形回路の充電が完了した時期にパルス整形回路とは逆極性にパルス充電する。この充電電圧とパルス整形回路の出力とが重畳して出力スイッチをオンする。この出力スイッチのオンにより、パルス整形回路の出力電圧でコンデンサをそれまでとは逆方向に充電して、カソードに電子ビーム発生のためのプラズマが発生するようにカソード、アノード間に印加する。
請求項（抜粋）：
コンデンサとインダクタンスとを分布定数回路状に接続した高電圧パルス発生用のパルス整形回路と、前記パルス整形回路からの高電圧パルスが印加されることによって、パルス電子ビームを発生するカソードおよびアノードと、前記パルス整形回路からの高電圧パルスを前記カソード、アノード間に印加するための自爆放電スイッチからなる出力スイッチとを備えたパルス電子ビーム照射装置において、前記カソード、アノード間にまたがって、前記パルス整形回路の出力電圧とは逆方向にパルス充電されるプレパルス発生用のコンデンサを接続し、前記プレパルス発生用のコンデンサのパルス充電電圧と前記パルス整形回路の出力電圧とを重畳した重畳電圧を、前記出力スイッチにトリガ電圧として印加するとともに、前記出力スイッチのオンにより、前記パルス整形回路の出力電圧が前記プレパルス発生用のコンデンサをそれまでとは逆方向に充電して、その充電電圧を、前記パルス整形回路からの高電圧パルスが前記カソード、アノード間に電子ビーム発生のために供給されるまでに、前記カソードにおけるプラズマ生成を促進するように前記カソード、アノード間に印加してなるパルス電子ビーム照射装置。
IPC (2件)：
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