基板露光方法及び装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林和憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-347527
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148810
出願日： 2000年11月15日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：

【要約】【課題】 1台の露光ユニットでガラス基板の表面側および裏面側から露光を行う。【解決手段】基板出入口15から水平状態でガラス基板16が供給される。第2アーム19は、基板受渡位置26でガラス基板16を水平状態で受取り保持する。第2駆動部23により第2アーム19が90度回転されてガラス基板16が垂直になる。ガラス基板16を垂直に保持した状態で、第2駆動部23により第2アーム19が露光部11に移動される。基板ステージ32は、ガラス基板16を第2アーム19から受取りフォトマスク35に近づけて位置決めする。露光ユニット30から紫外線を照射してガラス基板16を露光する。第2アーム19の回転方向によって、ガラス基板16の表面側、裏面側のどちらから露光するかを選択することができる。第1アーム18と第2アーム19とは同様の動作を交互に行う。

請求項（抜粋）：

表面に感光性樹脂層が設けられた透明な基板を略垂直に保持し、前記感光性樹脂層に応じて基板の表面側、または裏面側から、その感光性樹脂層に対応するマスクを通して感光性樹脂層を露光する基板露光方法であって、前記感光性樹脂層に応じて前記基板の表裏を反転させるとともに前記マスクを交換し、1つの露光部により前記基板を表面側および裏面側から露光することを特徴とする基板露光方法。

Fターム (6件)：

2H097AA01 , 2H097DA11 , 2H097DB07 , 2H097DB11 , 2H097GB02 , 2H097LA12

引用特許：

審査官引用 (2件)

露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-343971 出願人：有限会社岡本技研
反転装置及び露光システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-041401 出願人：株式会社小野測器

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