特許
J-GLOBAL ID：200903097207811474
積層マイクロチャネルアレイ装置並びに同装置を用いた濾過・分級方法及びエマルションの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小山 有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-331506
公開番号（公開出願番号）：特開平11-165062
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】 従来のマイクロチャネルアレイ装置では、多量の液体を一度に処理できない。【解決手段】 光学研磨されたシリコン単結晶基板3の表面に、貫通孔11を有する凹部6と、この凹部6を取り囲む土手部8を形成し、この土手部8の突出表面に、微細加工等によって微細な多数の溝10を刻設し、同一加工した複数の基板3の向きを揃えて密着して積層することで、各密着部に多数の微細流路が形成されるようにする。そして貫通孔11を通して液体を供給し、微細流路を流通させることで、エマルションを製造し、または粒子分散液の濾過・分級を行う。この際、所定側端部の基板3を透明板4に密着させ、光学観察装置5で微細流路内の流れを観察しつつ行う。
請求項（抜粋）：
複数の基板の向きを揃えて密着状に積重ね、密着面に多数の微細な液体流路を形成するようにした積層マイクロチャネルアレイ装置であって、前記基板の表面には、液体供給口に連通する凹部と、この凹部を取り囲み且つ突出表面に多数の微細な溝を備えた土手部が形成されるとともに、この基板の表面を他の基板の裏面に密着させた状態で、前記土手部の溝によって前記凹部内と凹部外を連通する微細な液体流路が形成されるようにしたことを特徴とする積層マイクロチャネルアレイ装置。
IPC (4件)：
B01J 19/00
, B01D 29/46
, B01F 3/08
, B01J 13/00
B01J 19/00 Z
, B01D 29/46 A
, B01F 3/08 A
, B01J 13/00 A
