特許

J-GLOBAL ID：200903097209009349

繰返しパターンの欠陥検査装置

発明者： 依田 晴夫 ,  大内 洋三 ,  酒匂 裕
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-325191
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264464
出願日： 1983年04月15日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】【目的】 半導体メモリなど2値の映像信号を用いた比較では、欠陥検査が困難な繰返しパターンの欠陥でも抽出できる検査装置を提供することである。【構成】 本発明は、微細な同一の繰返しパターンが規則的に配列された被検査物を走査して映像信号を取り込む撮像手段10と、映像信号を多値のディジタル信号に変換する変換手段11と、隣接し合う繰返しパターンに対応する多値のディジタル信号を比較する比較手段13を備えて、繰返しパターンの欠陥を検査するものである。

請求項（抜粋）：

微細な同一の繰返しパターンが規則的に配列された被検査物を走査して映像信号を取り込む撮像手段と、上記映像信号を多値のディジタル信号に変換する変換手段と、隣接し合う上記繰返しパターンに対応する上記多値のディジタル信号を比較する比較手段を備え、上記繰返しパターンの欠陥を検査することを特徴とする繰返しパターンの欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G06F 15/62 405 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭56-162037
  
• 特開昭55-074409
  
• 特開昭56-126752