表面電位の計測装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺望稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-234738
公開番号（公開出願番号）：特開平5-072241
出願日： 1991年09月13日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：

【要約】【目的】非線形光学結晶が有するポッケルス効果を応用した表面電位の計測装置であって、非線形光学結晶の屈折率変化の温度依存性による計測誤差を解消し、かつ暗減衰による静電潜像の劣化や計測誤差もない表面電位の計測装置を提供する。【構成】計測電極および背面電極で非線形光学結晶を挟持してなる計測ヘッドをハウジングに内包し、かつ、前記ハウジング内の雰囲気調整手段と、前記非線形光学結晶の温度調整手段とを有することにより前記目的を達成する。

請求項（抜粋）：

被検体に対面する計測電極および背面電極で非線形光学結晶を挟持してなる計測ヘッドと、前記計測ヘッドに直線偏光の光ビームを射出する光源と、前記非線形光学結晶を通過した光ビームの光量を測定する光量測定手段と、少なくとも前記計測ヘッドを内包するハウジングと、前記ハウジング内の雰囲気調整手段と、前記非線形光学結晶の温度調整手段とを有することを特徴とする表面電位の計測装置。

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