レンズ検査システムのフォーカス調整方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-286489
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108576
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】被検レンズの形状差に左右されることなく高精度にフォーカス位置を算出し調整することができるフォーカス調整方法及び装置を提供する。【解決手段】被検レンズの位置をあらゆる方向に制御する位置決め手段と、位置決め手段をコントロールする制御手段と、所定波長の光を出力する光源と、被検レンズによって形成される光源の光のスポット像を拡大する対物レンズ、接眼レンズと、スポット像を撮像する撮像手段と、撮像手段の画像を記憶する画像メモリと、画像メモリの記憶された画像の演算処理と制御手段に制御信号を送る演算手段と、画像を表示する表示手段とで構成されているレンズ検査システムにおいて、被検レンズを位置決め手段によって光軸方向に移動しながら所定位置の面上に形成されるスポット像を撮像し、所定輝度レベル以上の画素数を演算手段によって算出し、画素数が最大になる位置をフォーカス位置とし調整する。

請求項（抜粋）：

被検レンズの位置をあらゆる方向に制御する位置決め手段と、該位置決め手段をコントロールする制御手段と、所定波長の光を出力する光源と、前記被検レンズによって形成される前記光源の光のスポット像を拡大する対物レンズ、接眼レンズと、前記スポット像を撮像する撮像手段と、該撮像手段の画像を記憶する画像メモリと、該画像メモリの記憶された画像の演算処理と前記制御手段に制御信号を送る演算手段と、画像を表示する表示手段とで構成されているレンズ検査システムにおいて、前記被検レンズを前記位置決め手段によって光軸方向に移動しながら所定位置の面上に形成されるスポット像を撮像し、所定輝度レベル以上の画素数を前記演算手段によって算出し、画素数が最大となる位置をフォーカス位置とし調整するフォーカス調整方法。

IPC (3件)：

G01M 11/02 , G01B 11/00 , G01M 11/00

FI (3件)：

G01M 11/02 B , G01B 11/00 A , G01M 11/00 L

Fターム (34件)：

2F065AA02 , 2F065AA06 , 2F065AA17 , 2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065CC22 , 2F065DD03 , 2F065EE05 , 2F065FF01 , 2F065FF10 , 2F065FF42 , 2F065FF66 , 2F065FF67 , 2F065GG05 , 2F065HH03 , 2F065HH04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL09 , 2F065LL12 , 2F065LL21 , 2F065MM00 , 2F065MM14 , 2F065MM15 , 2F065NN03 , 2F065QQ08 , 2F065QQ24 , 2F065QQ29 , 2F065QQ32 , 2F065SS13 , 2G086FF04 , 2G086HH01 , 2G086HH06

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-174626
特開平1-213613
特開昭62-174626

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