特許
J-GLOBAL ID：200903097236763683
光の屈折率変化が生じる位置を測定する装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-012833
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203412
出願日： 1992年01月28日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【目的】 従来例に比較してより高い分解能で、測定対象物の物体において光の屈折率変化が生じる位置を測定することができる装置を提供する。【構成】 互いに異なる複数の周波数を有する光を発生し、発生された光の複数の周波数を測定し、発生された光を2分配し、2分配した一方の光の周波数を所定の局部発振信号を用いて局部発振周波数だけシフトして、局部発振周波数の周波数差を有する2つの光を周波数シフト手段によって発生する。発生した2つの光のうち一方の光を物体に照射し、物体から反射してくる反射光と散乱光とを含む信号光と、周波数シフト手段から出力される他方の光とを混合してヘテロダイン検波して検波信号を出力する。さらに、検波信号と局部発振信号との位相差を検出した後、検出された上記複数の周波数の光に対する各位相差と、測定された複数の周波数とに基づいて上記照射した光の光路上で上記物体において屈折率変化が生じる位置を演算する。
請求項（抜粋）：
互いに異なる複数の周波数を有する光を発生する光発生手段と、上記光発生手段によって発生された光の複数の周波数を測定する測定手段と、上記光発生手段によって発生された光の各周波数よりも低い所定の局部発振周波数を有する局部発振信号を発生する信号発生手段と、上記光発生手段によって発生された光を2分配し、上記2分配した一方の光の周波数を上記信号発生手段によって発生された局部発振信号を用いて上記局部発振信号の局部発振周波数だけシフトして、互いに上記局部発振周波数の周波数差を有する2つの光を発生し、上記発生した2つの光のうち一方の光を上記物体に照射する周波数シフト手段と、上記周波数シフト手段から出力される一方の光が上記物体に照射されたときに上記物体から反射してくる反射光と散乱光とを含む信号光と、上記周波数シフト手段から出力される他方の光とを混合してヘテロダイン検波して検波信号を出力する検波手段と、上記検波信号と上記局部発振信号との位相差を検出する位相検出手段と、上記位相検出手段によって検出された上記複数の周波数の光に対する各位相差と、上記測定手段によって測定された複数の周波数とに基づいて上記照射した光の光路上で上記物体において屈折率変化が生じる位置を演算する演算手段とを備えたことを特徴とする光の屈折率変化が生じる位置を測定する装置。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G01S 17/32
, G02F 2/00
