膜厚測定装置および研磨装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山田義人 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-049965
公開番号（公開出願番号）：特開2002-252273
出願日： 2001年02月26日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【構成】測定ステージ18上に載置されたウエハが、ガイド突起56によりセンタリングされる。カメラユニット24内のカメラの視野内にウエハのアライメントパターンを配置する際には、測定ステージ18の透孔50に吸着パッド72が挿通され、この吸着パッド72でウエハが吸着される。そして、モータ70により吸着パッド72およびウエハが回動され、センサ62によりウエハの回動位置が検出される。そして、ウエハの回動位置に基づいてアライメントパターンの位置が特定され、そのアライメントパターンがカメラの視野内に位置決めされる。【効果】装置全体を小型化できるとともに、アライメント後の位置ずれを防止できる。また、測定ステージ18にウエハを載置すると同時にウエハのセンタリングが完了するので、アライメント時間を大幅に短縮できる。

請求項（抜粋）：

X-Y軸方向へ移動可能な測定ステージ、前記測定ステージにウエハを吸着する第1吸着部、前記測定ステージの中央に形成された透孔、前記測定ステージの上面に形成されて前記ウエハをセンタリングするガイド突起、Z軸方向へ移動可能でかつ前記透孔に挿通可能な吸着パッド、前記吸着パッドに前記ウエハを吸着する第2吸着部、前記吸着パッドを回動させるモータ、および前記吸着パッドに吸着された前記ウエハの回動位置を検出するセンサを備える、膜厚測定装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 , B24B 37/04 , G01B 11/00 , H01L 21/304 622 , H01L 21/304 , H01L 21/66

FI (7件)：

H01L 21/68 P , H01L 21/68 G , B24B 37/04 K , G01B 11/00 C , H01L 21/304 622 S , H01L 21/304 622 R , H01L 21/66 P

Fターム (59件)：

2F065AA03 , 2F065AA30 , 2F065BB28 , 2F065CC19 , 2F065DD02 , 2F065DD06 , 2F065FF23 , 2F065GG12 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065MM04 , 2F065PP13 , 2F065UU04 , 2F065UU09 , 3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058AC02 , 3C058BA01 , 3C058BA02 , 3C058BA07 , 3C058BB01 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058CB05 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106CA48 , 4M106DH03 , 4M106DH12 , 4M106DH32 , 4M106DJ04 , 4M106DJ05 , 4M106DJ07 , 5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031GA02 , 5F031HA08 , 5F031HA09 , 5F031HA13 , 5F031HA33 , 5F031HA58 , 5F031HA59 , 5F031JA02 , 5F031JA04 , 5F031JA05 , 5F031JA10 , 5F031JA15 , 5F031JA17 , 5F031JA27 , 5F031JA34 , 5F031JA35 , 5F031JA47 , 5F031KA08 , 5F031KA11 , 5F031MA22 , 5F031MA33 , 5F031PA04 , 5F031PA30

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