特許

J-GLOBAL ID：200903097239563421

ケミカルメカニカルポリシングコンディショナ

発明者： グルサミー, ジャヤクマール ,  ローゼンバーグ, ローレンス, エム.
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-540970
公開番号（公開出願番号）：特表2002-509811
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2002年04月02日
要約：

【要約】ポリシングパッドの研磨面をコンディショニングするためのコンディショナヘッド(60)である。コンディショナヘッド(60)は、縦軸の周りに回転する駆動要素とディスクバッキング要素(80)を備える。ディスクバッキング要素(80)は、研磨ディスク(82)を支持し、ディスクの下面をポリシングパッドに係合させた状態に保持する。コンディショナヘッドは、ディスクバッキング要素を駆動要素に結合して、両者の間でトルクと回転を伝達する被駆動要素を更に備える。被駆動装置は、引込位置と伸張位置との間を縦方向に移動する。環状ダイヤフラム(134)は、駆動要素と被駆動要素との間のギャップを架橋し、駆動要素および被駆動要素に結合して、これらと一体になって回転する。

請求項（抜粋）：

ポリシングパッドの研磨面をコンディショニングするためのコンディショナヘッドであって、 縦軸の周りで回転するように支持された駆動要素と、 研磨ディスクを支持し、その研磨ディスクを前記ポリシングパッドと係合させて保持するディスクバッキング要素と、 前記ディスクバッキング要素を前記駆動要素に結合し、両者の間でトルクおよび回転を伝達する被駆動要素であって、引込位置と伸張位置との間を縦方向に移動することができる被駆動要素と、 前記駆動要素と前記被駆動要素との間のギャップを架橋し、前記駆動要素および前記被駆動要素に結合されて、前記駆動要素および前記被駆動要素と一体となって回転する環状ダイヤフラムと、を備えるコンディショナヘッド。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  B24B 53/00

FI (2件)：

B24B 37/00 A ,  B24B 53/00 A

Fターム (6件)：

3C047AA05 ,  3C047AA34 ,  3C058AA07 ,  3C058AA19 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17