塗布面検査装置及び塗布システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-153900
公開番号（公開出願番号）：特開平11-002610
出願日： 1997年06月11日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】塗布領域と非塗布領域とからの反射光の違いを判断して、予め記録されている塗布パターン情報と比較して塗布状態が良好であるか否かを判断する。【解決手段】塗布面検査装置1は、鉛板ガラス2の表面に薄膜3が形成されているか否かを判別する装置であり、鉛板ガラス2の面上に鉛板ガラス2と薄膜3の分光特性を加味した照明光を照射する照明装置4と、照明光の反射光を受光する受光装置5と、この受光装置5に入射した反射光の反射光強度を演算して鉛板ガラス2に塗布された薄膜3の塗布状態を示す塗布状態データを生成すると共に、この生成された塗布状態データが予め設定されている所定の塗布状態であるか否かを判別する演算処理・判別装置6とで主に構成されている。

請求項（抜粋）：

面上に塗布された物質の塗布状態を検査する塗布面検査装置において、塗布される面の分光特性と塗布した物質の分光特性との比を大きくする波長帯域に分光輝度分布を有する照明光を照射する光源を備えた照明装置と;この照明装置の光源から塗布面上に向けて照射された照明光の反射光を受光する受光装置と;この受光装置に入射した反射光データを演算して、反射光強度の違いによって塗布面上の塗布領域と非塗布領域とを判別する演算処理・判定装置と;を具備することを特徴とする塗布面検査装置。

前のページに戻る