分光測定装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-002991
公開番号（公開出願番号）：特開2003-207394
出願日： 2002年01月10日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：

【要約】【課題】フォトダイオードアレイのピッチに影響されることなく、波長分解能の向上を図った分光測定装置を実現することを目的にする。【解決手段】本発明は、被測定光を分光する波長分散素子と、この波長分散素子によって分光された光を受光し、光電流を出力する複数のフォトダイオードからなるフォトダイオードアレイとを有し、フォトダイオードアレイの出力により、測定を行う分光測定装置において、被測定光を偏向させ、フォトダイオードアレイで受光される位置を変える偏向手段を設け、異なる偏向量における測定結果により、被測定光の特性を測定することを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

被測定光を分光する波長分散素子と、この波長分散素子によって分光された光を受光し、光電流を出力する複数のフォトダイオードからなるフォトダイオードアレイとを有し、フォトダイオードアレイの出力により、測定を行う分光測定装置において、前記被測定光を偏向させ、前記フォトダイオードアレイで受光される位置を変える偏向手段を設け、異なる偏向量における測定結果により、前記被測定光の特性を測定することを特徴とする分光測定装置。

IPC (4件)：

G01J 3/36 , G01J 3/06 , G01J 3/14 , G01J 3/18

FI (4件)：

G01J 3/36 , G01J 3/06 , G01J 3/14 , G01J 3/18

Fターム (13件)：

2G020CB04 , 2G020CC02 , 2G020CC07 , 2G020CC13 , 2G020CC30 , 2G020CC56 , 2G020CC63 , 2G020CD03 , 2G020CD24 , 2G020CD34 , 2G020CD36 , 2G020CD37 , 2G020CD51

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平1-197617
特開平3-102229
光素子および光フィルタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-361509 出願人：古河電気工業株式会社

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