特許
J-GLOBAL ID：200903097256049979
基板方向転換装置および基板端縁処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-196640
公開番号（公開出願番号）：特開平10-035884
出願日： 1996年07月25日
公開日（公表日）： 1998年02月10日
要約：
【要約】【課題】 基板搬送途中での蛇行や、方向転換時の基板の位置ずれを防止する。【解決手段】 上流側の基板端縁処理部2のノズルブロック9,10で所定処理が施された後に基板方向転換部3で方向転換し、コロ部材31で基板1の両端面を挾み込むようにして基板1を整列させると共に、整列後は両側のコロ部材31をガイドにして基板1が搬送されることで、方向転換時の基板1の位置ずれが補正され、基板搬送途中の基板1の蛇行もないため、下流側の基板端縁処理部4の搬送ローラ6の両側の鍔部5に乗り上げたり蛇行したまま受け渡されたりすることなく、正しい基板姿勢で搬送ローラ6に受け渡されて下流側の基板端縁処理部4のノズルブロック9,10を通過することになる。これによって、所定処理済みの両端縁部に直交する残る両端縁部に対してもノズルブロック9,10で所定の処理液が所定位置に正確に供給されて確実なる所定処理をする。
請求項（抜粋）：
角形の基板を搬送する途中で前記基板の方向を所定の角度だけ転換する基板方向転換装置において、基板搬送経路を介してそれぞれ配設され、前記基板搬送経路に対して進退自在に構成された基板整列部材を有し、この基板整列部材は、基板方向転換後に、前記基板の搬送方向と平行な前記基板の両端面を外側から挾み込むように移動すると共に、その後の基板搬送時にも、この状態を維持する構成としたことを特徴とする基板方向転換装置。
IPC (4件)：
B65G 49/07
, G03F 7/30 501
, H01L 21/027
, H01L 21/68
B65G 49/07 Z
, G03F 7/30 501
, H01L 21/68 A
, H01L 21/30 577
