特許

J-GLOBAL ID：200903097265361942

電気炉

発明者： 西澤 潤一 ,  江幡 貴司
出願人/特許権者： 財団法人半導体研究振興会 ,  東北特殊鋼株式会社
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-148342
公開番号（公開出願番号）：特開平8-014764
出願日： 1994年06月29日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】 発塵性のある耐火物を不要とし、製作が容易であり、小型化できるクリーンな電気炉を提供する。【構成】 抵抗発熱体巻線(3)や加熱ランプ等からなる熱源をアルミニウム板(1)またはその合金製の壁で囲み、熱輻射反射特性を利用して保温する電気炉で、外周は水冷銅管(2)で冷却している。抵抗発熱体巻線(3)の導線はアルミニウム板(1)からセラミック絶縁管(4)で電気的に絶縁されている。電気炉の内の石英チャンバー(6)の中に被加熱物(5)が配置され、チャンバー(6)は外部の真空排気装置(7)に接続されている。抵抗発熱体巻線(3)に通電すると、発生した熱輻射はアルミニウム板(1)の内側の表面によって高い効率で反射され、炉内雰囲気の温度を上昇し、被加熱物(5)を加熱する。この時、アルミニウム板(1)の外側の表面の温度は雰囲気温度よりかなり低く保たれる。この電気炉を加熱温度1000°C付近で長時間使用してもアルミニウム板(1)の金属光沢は劣化しなかった。

請求項（抜粋）：

熱源を耐酸化性の金属壁で囲み、熱源に対して金属壁と逆の位置に被加熱物収容チャンバーを配設した電気炉であって、金属壁の熱輻射反射により保温しつつ加熱することを特徴とする電気炉。

IPC (4件)：

F27D 1/00 ,  C23C 14/26 ,  F27B 17/00 ,  H01L 21/02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-159591
  
• 特開昭60-159591