特許
J-GLOBAL ID:200903097265916170
研磨フィルム
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石川 泰男 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-259742
公開番号(公開出願番号):特開2003-071729
出願日: 2001年08月29日
公開日(公表日): 2003年03月12日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 粗研磨から仕上げ研磨までの複数の研磨工程において、複数の研磨フィルムを用いることなく、一枚の研磨フィルムで複数の研磨工程を行うことができ、研磨工程ごとに研磨フィルムを交換する煩わしさがない研磨フィルムを提供すること。【解決手段】 基材フィルム2と、複数の研磨層が積層されてなる研磨体3と、からなることに特徴を有する研磨フィルムを提供する。
請求項(抜粋):
基材フィルムと、複数の研磨層が積層されてなる研磨体と、からなることを特徴とする研磨フィルム。
IPC (2件):
B24D 11/00
, B24B 19/00 603
FI (2件):
B24D 11/00 B
, B24B 19/00 603 A
Fターム (9件):
3C049AA07
, 3C049AA09
, 3C049CA01
, 3C063AA03
, 3C063AB07
, 3C063BF02
, 3C063BG08
, 3C063BG22
, 3C063EE01
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