特許

J-GLOBAL ID：200903097271162137

エッチング終点検出方法、ウエハ及びウエハの製造方法

発明者： 角谷 昌紀
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-365537
公開番号（公開出願番号）：特開2001-185536
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 エッチング対象のウエハをウエハステージに載置したときにウエハが回転しても精度良く膜厚を測定でき、エッチング終点を正確に検出できるエッチングの終点検出方法、このエッチング終点検出方法に用いるウエハ、及びこのウエハの製造方法を提供する。【解決手段】 配線用のコンタクトホールパターン54a〜54dとは別にエッチング終点検出用のパターン52をウエハ60の中央位置に相当するレジスト膜64に形成し、エッチング終点検出用のパターン52を用いてエッチングの終点を検出する。

請求項（抜粋）：

エッチング用の配線パターンとウエハの中央領域に相当する領域に設けられた開口とを備えたマスクパターン層と、該マスクパターン層の下層に設けられたエッチング対象層とを備えたウエハをドライエッチングする際に、前記開口に光を照射してマスクパターン層の下層のエッチング対象層により反射された反射光を受光し、該反射光の強度変化に基いてエッチングの終点を判断するエッチング終点検出方法。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 ,  G03F 7/36

FI (2件)：

G03F 7/36 ,  H01L 21/302 E

Fターム (14件)：

2H096AA25 ,  2H096HA23 ,  2H096JA04 ,  2H096LA16 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB32 ,  5F004CB09 ,  5F004CB14 ,  5F004DA01 ,  5F004DA26 ,  5F004DB03 ,  5F004DB07 ,  5F004EB01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-076117
  
• 特開昭62-120029
  
• 特開平3-076117
  
• 特開昭62-120029